等离子镀膜机特点:
真空室结构:立式前开门结构、后置抽气系统、双层水冷腔室
真空室材质: 优质不锈钢材质腔体
极限真空:6.0×10-4Pa
抽气时间(空载): 从大气抽至8.0×10-3Pa≤15分钟
真空获得系统:扩散泵或分子泵+罗茨泵+机械泵+维持泵
(具体型号可根据客户的要求进行配置)
镀膜方式: 电弧镀膜+磁控溅射镀膜
制膜颜色:透光膜-烟灰色、香槟色、干邑色、酒红色、幻彩色
琥珀色等 不透光膜:金色、古铜色、银白色、咖啡色、枪灰色等
磁控靶类型: 矩形磁控靶、圆柱形磁控靶、孪生磁控对靶
磁控电源功率及磁控靶数量:根据不同镀膜工艺和客户的需求进行选配
工件转架、转动方式: 行星式公自转、变频调速(可控可调)
工件烘烤温度:室温至450℃可控可调(PID温控)
工艺气体:3路或4路工艺气体流量控制及显示系统 选配自动加气系统
冷却方式:水循环冷却方式,另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统。(客户提供)
控制方式:手动/自动一体化方式、触摸屏操作、PLC或计算机控制