石英等离子清洗机

      石英型等离子清洗器采用电感耦合式工作原理，在微波管、零件绝缘方面作用很突出，适用于高洁净度的敏感产品处理；广泛地被大中院校、科研机构、企业研发机构和实验室采用。

      其产品主要应用在材料科学、高分子科学、生物医药材料学、微流体研究、微电子机械系统研究、光学、显微术、牙科医疗等领域中的污染物清除、表面活化、粘合前处理、表面化学改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。该产品能处理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金属半导体、陶瓷、复合材料、高分子聚合物等材料，并对所处理的材料表面带来表面超洁净、杀菌、提高湿润性转变、表面性质改变、提高结合力等处理效果。

一、技术规格：

   ★设备外形尺寸:500(W)×300(D)×500(H)mm            

★石英真空仓体尺寸:

   直径150*200mm

★低压(真空)等离子清洗机仓体结构:

   内置石英圆形真空腔

★低压(真空)等离子清洗机射频发生器:

   频率13.56MHZ,功率0-500W连续调节,自动阻抗匹配

★低压(真空)等离子清洗机控制系统:

   采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件，性能稳定可靠;

★低压(真空)等离子清洗机真空系统:

   优质品牌BOSS真空泵    

 ★低压(真空)等离子清洗机充气系统:

  两种工艺气体配置(氩气、氧气），高精度浮子流量计、美国世维洛克气体管路及阀件

★抽屉式装载：样品托盘为抽拉式

★真空度：操作真空度为0.3mbar到1.0mbar

★数字计时单元：0~99.9小时选择范围时间显示，处理过程结束后自动终止

★电源：220V/50Hz

★双路气流控制：双路气体针阀控制流量，可选1或2或两种气体且比例可调